- 금속 가공·정밀 부품에서 반도체·자기 헤드 등의 다양한 측정에 사용 가능합니다.- 스테이지 사이즈는 ，250×150㎜- Z축의 이동은 전동식 조작- 0.1㎛까지 측정 가능- 빠른 스테이지 이동 방식- Auto Focus Unit (Option)- 고정밀도로 ，뛰어난 조작성을 실현- 목적에 대응하는 조명 방법，관찰 방법，배율의 선택이 가능하고，다양한 측정방법에도 사용가능합니다.- 높이 측정에서의 고르지 않은 상태를 최소한으로 하는 포커스 센서를 준비．높이·깊이 측정을 효율좋게 측정 할 수 있습니다．-interface unit을 사용하여 퍼스널 컴퓨터에서의 측정 데이터의 보존，관리가 가능합니다-텔레비전 카메라，사진 촬영 장치를 option로 준비
