전자, 반도체 - 반도체부품 제조

대분류 : 		 
중분류 : 		 
소분류 : 		 





8inch Cool Plate

  업체명
:
에티스    TEL  : 042-863-7673
  상품설명 : ■ 반도체 제작 공정 중 포토공정에 사용되는 Track장비에서 Ø200㎜웨이퍼의 냉각 과정에 사용되는 장비.

  • Temp. Setting Range : 18~35℃
  • Temp. Control Accuracy : ±0.1℃
  • Temp. Uniformity : R≤0.1℃(The wafer surface distribution)
  • Cooling Time : within 32sec (150℃ to 23℃)
  • Cooling Capacity : Approx. 350W
  • Cooling type : PCW & TEC
  • Sensor : Pt100Ω-RTD
  • Proximity gap : 80~120㎛
  • Plate Material and Surface Treatment : Al 5052, 6061 Hard anodizing
  • PCW Path Material : SUS 316 pipe(O.D 3/8 inch)
  • Safety Function : Thermostat(60℃, Max.)
  • Outer Dimension : ／◦220×H37.0㎜