전자, 반도체 - 반도체부품 제조
대분류 :
가전/컴퓨터
의류
패션잡화/액서서리
미용/뷰티
사무/문구/완구
농수산/식품
가구/인테리어
레저/건강
취미/카인테리어
생활/주방
서비스
건설/토목/공사
농/림/어/광업
산업/기계
석유/화학/섬유
자동차/선박/항공
가스/증기/수도
중분류 :
-------전 체-------
산업안전보호구
공구
산업기계
기계요소 부품
냉난방 공조기, 전열제품
계측기/시험기기
동력전달장치/모터/펌프
배관, 밸브
소방/방재
용접/유공압기
자동제어/자동화기기
전기
전자, 반도체
의료 및 정밀기기
포장기계, 자재
환경기기, 설비
통신/방송/네트웍
철/비철금속
비금속 광물
소분류 :
Excimer Lens
업체명
:
에티스
TEL : 042-863-7673
상품설명
:
■ 웨이퍼에 포토레지스트를 도포한 후 웨이퍼 가장자리의 일정영역을 248㎚(혹은 365㎚) UV 파장을 Excimer lens를 통과해 exposure하여 웨이퍼 가장자리의 두꺼운 포토레지스트를 제거하는데 사용된다.
Image field size : 7㎜ diameter(Optical fiber diameter=7㎜)
Magnifications : 1 to 1(Other magnifications are available)
Slope of image edge :
under 3㎛ for 0.7㎛ photoresist thickness.
Light source : Mercury-Zenon lamp
Wave length : 248㎚(365㎚ available)
Mechanical length : 50㎜(max 80㎜)
Working distance from lens to wafer : About 5㎜
