CVD°øÁ¤(ûùùÊѨßÓà÷íþÛö)¿¡ ÀÇÇÏ¿© »ý¼ºµÇ´Â µÎÁ¾·ùÀÇ ¹°Áú, Áï Àü±âÀüµµ¼º ¼¼¶ó¹Í½º PG (Pyrolytic Graphite)¿Í Àü±â Àý¿¬¼º ¼¼¶ó¹Í½º PBN (Pyrolytic Boron Nitride)À» º¹ÇÕÈÇÑ »õ·Î¿î °³³äÀÇ È÷ÅÍ ¹× ð¡ï³CHUCK- Áø°øè¹ö ³»¿¡¼1500¡É±îÁö (»ç¿ëÁ¶°Ç¿¡ µû¶ó 2000¡É±îÁö »ç¿ë°¡´É)- ´ë±âÁß¿¡¼µµ ÃÖ°í 400¡É±îÁö »ç¿ëÇÑ´Ù.