약품공급장치 사용 지점(point of use)에서 보내는 신호에 따라 약품(산, 현상제, 스트립퍼, 유기류 등)이 보관 탱크로부터 반도체 제조 장소로 직접 공급된다.펌프 제어 및 감시 기능이 프로그램에 의해 자동화되어 있다.
