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Cryopumps, Cryogenics - 크라이오 펌프 및 Cryogenics
◈ 적용분야
극저온 냉각기를 이용하여 분자를 흡착 방출하는 펌프및
냉각기 코팅, 스퍼터링, Ion implanter, 초전도및 기타 목적 냉각분야.
◈ 특징
ㆍ전기적 히팅 방식을 채용한 재생장치
ㆍ완전 자동 재생작업
ㆍ우수한 냉각성능
ㆍ운전 조작용이
ㆍ서비스 용이
◈ 진공영역대
ㆍ< 10-11 mbar
◈ 제품군
ㆍCOOLVAC 800, 3.011, 5.011, 10.011, 18.011, 30.011
ㆍCOOLPOWER 120T, 150, 2/10, 12/45, 5/100,
5/100T,
ㆍOOLPOWER 130, 4.2GM 0.5W, 4.2 ONE WATT,
4.2LAB
ㆍPOLAR SC-7 COM
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