8inch Hot Plate

  업체명

:

에티스    TEL  : 042-863-7673
  상품설명 : ■ 반도체 제작 공정 중 포토공정에 사용되는 Track장비에서 300㎜웨이퍼의 가열 과정에 사용되는 장비.

Model

EHP8-12R

Wafer Size

8 inch

Temperature Range

MAX 250℃

Temperature Uniformity

R≤0.25℃ at 150℃

Material

Upper Plate : Al6061

Bottom Plate : SUS316 Plate

Surfaces Coating

Upper Plate : Hard Anodizing

Bottom Plate : SUS316 Plate

Heater Cartridge

heater Module : 220VAC , 800W

Bottom heat protector

Mica, 1t

Internal Sensor

RTD(Pt100Ω Class "A")

Physical Size

Φ220*24t

Cable

Power Cord : AC220V, 10Amax. 2-Wire,

1m Long Sensor Cord : 3-Wire, 1m Long