CVD공정(化學氣相成長法)에 의하여 생성되는 두종류의 물질, 즉 전기전도성 세라믹스 PG (Pyrolytic Graphite)와 전기 절연성 세라믹스 PBN (Pyrolytic Boron Nitride)을 복합화한 새로운 개념의 히터 및 靜電CHUCK- 진공챔버 내에서1500℃까지 (사용조건에 따라 2000℃까지 사용가능)- 대기중에서도 최고 400℃까지 사용한다.
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